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    根據故障現象為液壓油缸動作不良，判斷出伺服閥閥芯在動作過程中有顫抖動作，其原因可分為電氣和機械兩大部分。因電氣故障處理較快，為盡快維修，故從電氣處理開始。
   1、電氣部分
   設為電氣部分出現故障，則有可能為控制信號串人交流信號、接線端子松動．連線接觸不良。信號發生回路硬件故障，伺服放大回路硬件故障等原因。經檢查，可以排除控制信號串入交流信號的可能，接線端子牢固無松動現象，連線無接觸不良，更換信號發生回路硬件模塊和伺服放大回路硬件模塊，故障現象依舊，采用示波器測量，信號正常。至此，基本排除電氣部分故障。
   2、液壓部分
   分別依次排除以下故障的可能性：油壓管道和油缸內有空氣、液壓油污染、油缸內漏嚴重、控制油路和主油路壓力不穩定。最后認定是伺服閥本體故障。更換伺服閥先導部分．開機正常。
經拆開檢查，發現力矩馬達導磁體與銜鐵縫隙中有許多金屬屑，相當于減小了銜鐵在中位時的每個氣隙長度g。根據《液壓控制系統》的分析結論：當|x/g |>1／3時(x為銜鐵端部偏離中位的位移)，銜鐵總是不穩定的。因此認為液壓系統中的金屬屑被吸附在永磁體上，減小了氣隙長度g，破壞了力矩馬達原有的靜態特性，是本次故障的根本原因。
    維護措施
    針對本次故障原因，以及分析的其他可能，采取了以下措施：
    1、定期更換油路濾芯，清理變質油
由于此次故障由液壓油中金屬污染造成，因此定期更換該系統油路中的濾芯，放掉濾油器中存油，可防止污物進入伺服閥，有效的防止故障發生，延長伺服閥的運行時間。
力矩馬達和先導閥完全浸泡在與回油相通的油液里，位置又處于管道的盲端，所以該處的油液幾乎不流動，易氧化變質，因此需定期放掉變質的液壓油。
    2、定期更換液壓油，加強液壓油的管理
液壓油在長期工作中會氧化焦化，并且液壓系統中的泵．閥、油缸等的磨損，會產生一些金屬屑，它們會降低液壓油的品質，造成故障。根據近幾年液壓油使用周期和油品化驗結果，要每10個月更換一次液壓油，才能保證設備無計劃外停機。
    3、定期更換伺服閥
此次故障的直接原因為力矩馬達被污染導致伺服閥動作不良，因此定期清洗、更換力矩馬達和先導閥，防止污染，從而杜絕故障發生。伺服閥的裝拆應在盡可能干凈的環境中進行，操作時應先去掉接到伺服閥上的電氣信號，再卸掉液壓系統的壓力，然后拆下伺服閥。在干凈、相容的商用溶劑中清洗所有的零件，零件可以晾干或用軟氣管以潔凈、干燥的空氣吹干。清洗后的伺服閥，可以作為備件輪流使用，降低費用。
    4、定期更換檢查電氣信號，緊固接線端子，防止松動，檢查連線，防止接觸不良
 伺服閥是精密制造的機電一體化產品，精度極高，對污染十分敏感，它在維護、清潔及對維護工作重要性的認識等方面的要求非常高，在實際使用中一定要引起足夠的重視。

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